科創(chuàng)板日報
2025-05-10 
從實驗室到先進(jìn)產(chǎn)業(yè)，復(fù)旦學(xué)子創(chuàng)業(yè)“深度光譜”
《科創(chuàng)板日報》5月9日訊（記者 陳美）作為集成電路制造和檢測的關(guān)鍵技術(shù)之一，光學(xué)感知技術(shù)正發(fā)揮著不可替代的作用。
《科創(chuàng)板日報》記者獲悉，今日，上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司（簡稱，復(fù)享光學(xué)）與上海科學(xué)院、復(fù)旦大學(xué)、中國科學(xué)院國家光柵制造與應(yīng)用工程技術(shù)研究中心、北京理工大學(xué)、華東理工大學(xué)等共同發(fā)布深度光譜聯(lián)合創(chuàng)新計劃。
復(fù)享光學(xué)創(chuàng)始人、總經(jīng)理殷海瑋告訴《科創(chuàng)板日報》記者，在高端芯片制造中，高精度的光學(xué)計量和檢測設(shè)備是確保良率和性能的重要保障。“特別是深度光譜技術(shù)架構(gòu)，可以通過使用不同波長的光源和多光譜成像技術(shù)，全面地檢測芯片的各種特性，如表面形貌、材料成分等。”
此前，復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的集成電路科技支撐專項《面向集成電路納米尺度三維多參數(shù)光學(xué)檢測關(guān)鍵技術(shù)的研究》已成功通過驗收。
財聯(lián)社創(chuàng)投通數(shù)據(jù)顯示，復(fù)享光學(xué)成立于2011年，已完成6輪融資，最近一筆融資是深創(chuàng)投和渾璞投資參與的超億元C輪融資。其中，渾璞投資是專業(yè)的半導(dǎo)體投資機(jī)構(gòu)，已實現(xiàn)多個半導(dǎo)體IPO。
復(fù)旦學(xué)子創(chuàng)業(yè)，聚焦“微納光子”
作為光學(xué)計量檢測設(shè)備公司，復(fù)享光學(xué)的創(chuàng)始人殷海瑋來自于上海復(fù)旦大學(xué)。在創(chuàng)業(yè)前，殷海瑋表示，導(dǎo)師復(fù)旦大學(xué)資劍教授講述了他對微納光子學(xué)的憧憬：未來的芯片將會是全光集成的，包括光源、光波導(dǎo)、光二極管、光三極管、光譜器件等等，正如集成電路和組成集成電路的各類電子元器件一樣……
那時，光子晶體、超材料等新興的微納光子學(xué)概念在國內(nèi)還處于“萌芽”狀態(tài)。在上海市大學(xué)生科技創(chuàng)業(yè)基金復(fù)旦分基金的支持下，殷海瑋的創(chuàng)業(yè)項目獲得了“第一束光”，利用這筆資金，殷海瑋成功啟動了企業(yè)。
在上海市科委的支持下，復(fù)享光學(xué)聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)成立了面向芯片產(chǎn)業(yè)的上海市微納制程智能檢測工程中心（SERCOM），開展光學(xué)檢測共性、關(guān)鍵技術(shù)的工程化研究，并實現(xiàn)科技成果向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)移、轉(zhuǎn)化。
在殷海瑋看來，這一轉(zhuǎn)化，對于復(fù)享光學(xué)來說，是“微納光子”從實驗室向先進(jìn)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)軍。
經(jīng)過多年深耕，復(fù)享光學(xué)提出“深度光譜技術(shù)架構(gòu)”。“該架構(gòu)是以需求為導(dǎo)向、面向交付，支持從需求到解決端到端一體化實現(xiàn)的光譜分析技術(shù)架構(gòu)，包括參量與量技術(shù)、光與物質(zhì)相互作用機(jī)制、儀器與芯片工程等。”
殷海瑋認(rèn)為，“端到端” 模式從需求出發(fā)直達(dá)解決方案，相比傳統(tǒng)從指標(biāo)到設(shè)備、從問題到方案的模式實現(xiàn)了大幅優(yōu)化，不僅縮短了研發(fā)周期，還降低了硬件成本。
與此同時，在光電子和光芯片領(lǐng)域，復(fù)享光學(xué)還聚焦前沿的消費級光器件制造與檢測技術(shù)領(lǐng)域。“隨著下一代信息顯示器件市場的爆發(fā)，預(yù)計未來光器件制造檢測設(shè)備將達(dá)到上億規(guī)模的需求。”殷海瑋稱。
上海科學(xué)儀器駛上應(yīng)用“快車道”
《科創(chuàng)板日報》記者注意到，2024年12月，《上海市促進(jìn)科學(xué)儀器和科研試劑創(chuàng)新發(fā)展行動方案（2025-2027年）》發(fā)布，提出到2027年，上海要建設(shè)1-2個技術(shù)測試驗證平臺，搭建5個以上應(yīng)用場景和用戶體驗中心，培育5家以上細(xì)分賽道科技領(lǐng)軍企業(yè)，科學(xué)儀器和科研試劑產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值450億元左右。
因此，如何讓上海自主研發(fā)的科學(xué)儀器和科學(xué)試劑產(chǎn)品，在應(yīng)用上駛進(jìn)“快車道”成為關(guān)鍵。
對此，在未來戰(zhàn)略和應(yīng)用上，殷海瑋也表示，復(fù)享光學(xué)將聚焦在“深度光譜技術(shù)”的五大方向：第一拓寬光譜檢測的應(yīng)用深度。近些年，科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)了光的自旋特性和拓?fù)涮匦裕@些新興物理現(xiàn)象或許能帶來光譜技術(shù)在材料檢測、醫(yī)療診斷等領(lǐng)域的全新應(yīng)用。
其次，深入研究光與物質(zhì)相互作用的機(jī)制，借助超快光學(xué)、阿秒脈沖等尖端手段，進(jìn)一步探索光譜檢測的極限。
第三，提升光譜儀器設(shè)備的精密制造，確保國產(chǎn)光譜設(shè)備在精度和穩(wěn)定性上達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
第四，在AI算法與數(shù)據(jù)模型開發(fā)方面，希望通過AI算法的應(yīng)用，實現(xiàn)光譜技術(shù)的智能化躍遷。特別是如何利用深度光譜高效、準(zhǔn)確地解析海量光譜數(shù)據(jù)，而這正是人工智能的優(yōu)勢所在。
第五，在新能源光伏技術(shù)等領(lǐng)域推進(jìn)光譜技術(shù)應(yīng)用。目前，鈣鈦礦材料的量產(chǎn)化還面臨諸多檢測難題，傳統(tǒng)光譜檢測設(shè)備無法滿足鈣鈦礦在量產(chǎn)階段的檢測需求。復(fù)享光學(xué)正與復(fù)旦大學(xué)等研究機(jī)構(gòu)展開合作，研發(fā)針對鈣鈦礦材料特性的專用光譜儀，希望能夠精確監(jiān)控材料在生產(chǎn)和應(yīng)用中的性能表現(xiàn)，從而為新能源行業(yè)的發(fā)展提供有效的技術(shù)支撐。
上海作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要地區(qū)之一，推動產(chǎn)業(yè)鏈上下協(xié)同合作是重要方向。
會上，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長郭奕武談到，全球集成電路產(chǎn)業(yè)面臨變革，供應(yīng)鏈安全技術(shù)突破、產(chǎn)業(yè)協(xié)同成為行業(yè)發(fā)展關(guān)鍵詞。
“隨著復(fù)享光學(xué)的快速發(fā)展，其不僅填補(bǔ)了國內(nèi)高端光學(xué)檢測設(shè)備的空白，更在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如光刻工藝監(jiān)控、晶圓缺陷檢測、先進(jìn)封裝測量等領(lǐng)域，為行業(yè)提供了高精度、高可靠性的解決方案。在上海市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的路徑中，需要這樣的技術(shù)生態(tài)、行業(yè)協(xié)同。”郭奕武表示。
來自上海市集成電路行業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)顯示，2025年第一季度上海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)營收700億元，同期增長12.19%，呈現(xiàn)穩(wěn)健增長態(tài)勢。其中，設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)營收82.97億元，同比增長26.55%，已經(jīng)連續(xù)超過5個季度增長率位居各產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)孜弧?/p>
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