新火種
2023-09-23 
2023工博會|上海理工大學：更高端、更智能！科技創新助力產業升級
填補國內空白的解理制造自動化裝備、情感模擬機器人、人形機器人……徜徉在工博會上海理工大學展區，縱使不懂原理、不懂技術，都想停下腳步，了解這些“黑科技”背后的故事，暢想科技創新助力產業升級的美好圖景。
在展區里，一臺方方正正的機器映入眼簾，看著不起眼的它可不簡單，它是國產首臺高端商用半導體激光器芯片巴條超精密解理制造成套設備，包括了半導體材料劃片機、裂片機及配套制造控制軟件等，主要技術指標達到國際先進水平。
用激光雷達實現城市內智能駕駛、以激光通訊與空間站進行星地通話、通過激光遙感“看”到更深的蔚藍水中世界……在這些充滿未來感的應用中，核心器件就是半導體激光器。“然而目前半導體激光器芯片巴條超精密解理制造整套自動化裝備在國內還處于技術起步階段，主要依賴日本、美國等公司進口生產設備，于是我們就想，能不能讓設備‘中國造’呢？”上海理工大學超精密制造技術研究團隊教授姜晨介紹，對半導體晶圓的解理加工，就是把極薄的晶圓的邊緣表面加工成一個平面，對平面的粗糙度和精度的要求特別高，由于這個平面形狀極為細長，傳統磨削拋光的方式無法達到要求，團隊聯合上海微高精密機械工程有限公司經過五年多的技術攻關，攻克GaAs、InP、GaN等半導體材料解理加工成套裝備、全套解理工藝和解理加工自動化輔助等多項關鍵技術，填補了多項國產技術空白。
怎樣讓科研成果走出實驗室、落在企業的流水線上？對像姜晨一樣的高校老師而言，工博會就是一個很好的契機。“我們已申請發明專利6項，授權5項發明專利，1項軟件著作權，發表高水平論文10余篇，設備及相關工藝的多項關鍵技術已掌握自主知識產權，就希望以上理智慧推動制造業高質量發展。”
此外，上理工還有情感模擬機器人、新一代智能人形機器人小貝3.0、基于微生物介質的低碳型智能水質衛士、裸眼3D設備等亮相工博會。
（文章來源：周到）
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