新火種
2023-09-21 
陜西先進光子器件工程創新平臺啟用
3月30日，陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺在西安高新區啟用。該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝，將為光子產業項目提供產品研發、中試、檢測等全流程技術服務，為光子產業各類創新主體打通從產品研發到市場化批量供貨的完整鏈條。
據了解，先進光子器件工程創新平臺占地30畝，建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發和中試配套設施，總建筑面積約3萬平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業設備100余臺（套），具備以GaAs（砷化鎵）、GaN（氮化鎵）為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務能力的柔性中試平臺，以技術服務與工程代工相結合的形式，為光子產業孵化項目提供產品研發、中試、檢測等全流程技術服務。
同時，先進光子器件工程創新平臺將有效解決第三代化合物半導體芯片制造的外延生長與制程等關鍵問題，為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設計企業、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務。
中國科學院西安分院院長趙衛表示：“希望陜西光電子先導院先進光子器件創新平臺啟用后，能夠吸引更多光子產業創新要素匯聚陜西，攻關一批引領未來的關鍵核心技術，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子產業冠軍企業，推動光子產業進一步向集群化、規?；l展?！保ó數毓└?西安高新區）
(責編：孫挺、吳超)分享讓更多人看到
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