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掏心窩子的聊聊硅基GaN到底有沒有前途?

新火種    2023-09-11

單晶硅是個(gè)好東西,因?yàn)樗执笥直阋耍aN更是個(gè)好東西,因?yàn)樗麕挘ㄕf(shuō)白了就是耐高壓,電壓高了,功率能力也就上去了),導(dǎo)熱好!

但是至于硅基GaN嘛……可就不一定了。

嚴(yán)謹(jǐn)一點(diǎn)解釋的話禁帶是這樣的:

禁帶:是指電子從原子核軌道上脫離所需要的能量,GaN 的禁帶寬度為 3.4eV,是硅的 3 倍多,所以說(shuō) GaN 擁有寬禁帶特性(WBG)。禁帶寬度決定了一種材料所能承受的電場(chǎng)。GaN 比傳統(tǒng)硅材料更大的禁帶寬度,使它具有非常細(xì)窄的耗盡區(qū),從而可以開發(fā)出載流子濃度非常高的器件結(jié)構(gòu),而載流子濃度直接決定了半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力。

Si

硅(silicon),嚴(yán)謹(jǐn)點(diǎn)兒,應(yīng)該是高純度的單晶硅(99.999999999%),作為第一代半導(dǎo)體材料,其技術(shù)與應(yīng)用發(fā)展到如今已經(jīng)非常成熟,目前全球 95% 以上的半導(dǎo)體芯片和器件都是用硅片作為基礎(chǔ)功能材料而生產(chǎn)出來(lái)。

硅片

但是由于硅本身的帶隙較窄、電子遷移率和擊穿電場(chǎng)較低,并不適用于制造功率器件產(chǎn)品。但是這并不意味著硅是第一代半導(dǎo)體材料,就一定很落后。(如果有人告訴你我這產(chǎn)品用的是第四代半導(dǎo)體,是最新的技術(shù),比第一代半導(dǎo)體厲害了不知道幾百萬(wàn)倍,我可以很負(fù)責(zé)任的告訴你,他要么不懂技術(shù),要么就是故意在騙你的錢。想知道原因,歡迎參閱作者這篇文章:襯底與外延,這倆到底是啥關(guān)系?這回幫你捋順了!)

雖然Si是第一代半導(dǎo)體材料,但是最先進(jìn)的邏輯芯片(CPU、GPU、ASIC、FPGA等等各種亂七八糟的U)和存儲(chǔ)芯片(NAND、NOR、DRAM、SRAM等等等等),肯定是只能用單晶Si的襯底來(lái)做的,不為別的,就是因?yàn)楦呒儯ú拍艿凸摹⒁讚诫s、工藝制程高、晶體管集成度高),99.999999999%(至少11個(gè)九……)。

而且,由于技術(shù)成熟,硅片價(jià)格是賊便宜賊便宜的。一張8英寸的P型高純硅片,也就幾十塊錢不到!!(芯片貴在制造,原材料真的很便宜)但是這張8寸硅片,如果用3nm工藝進(jìn)行加工制造(就是流片),量產(chǎn)成本也要15W/片左右,僅僅是打樣的話,估計(jì)就合到幾百萬(wàn)一片了。

所以我說(shuō),單晶硅是個(gè)好東西,大家應(yīng)該是贊同的吧。

GaN

GaN是氮化鎵,是氮和鎵的化合物,英文名稱是 Gallium nitride。(GaN讀的時(shí)候直接就是Gan,干,[我想靜靜],真的不騙你。)

由于 GaN 晶體管的溝道阻抗小、寄生電容小、低損耗、耐高溫以及散熱性的優(yōu)勢(shì),使得GaN材料非常適合做功率器件。GaN的開關(guān)電源(就是你的手機(jī)充電器)的電源轉(zhuǎn)化效率高比硅芯片電源高個(gè)幾十倍也很正常!

現(xiàn)在動(dòng)輒220W的神仙秒沖,基本上就得用到GaN甚至SiC(這個(gè)更強(qiáng),但是更貴)才能實(shí)現(xiàn),十幾年前的5W充電器基本上就是GaAs或者Si的。

GaN性能好,但是真的很貴很貴。光是6英寸的襯底就得過(guò)萬(wàn),量產(chǎn)流片費(fèi)用高達(dá)300萬(wàn)/片。是硅集成電路價(jià)格的幾十倍!(很難做大尺寸)目前氮化鎵外延片晶圓最大尺寸為8英寸,因此可以使用8英寸Fab,流片目前8英寸主流工藝節(jié)點(diǎn)包括0.35u-0.13um等制程。

某gan微波單片集成電路mpw流片加工(二次) 招標(biāo)項(xiàng)目

所以我說(shuō),GaN也是個(gè)好東西,大家應(yīng)該也不反對(duì)的吧。

硅基GaN

說(shuō)到硅基GaN,就得先聊聊襯底與外延的關(guān)系。(歡迎參閱作者這篇文章:襯底與外延,這倆到底是啥關(guān)系?這回幫你捋順了!)

外延是指通過(guò)外延生長(zhǎng)技術(shù)在襯底上生長(zhǎng)出來(lái)的薄膜。這個(gè)薄膜可以與襯底用相同的材料(同質(zhì)外延),但可以用與襯底不同的材料(異質(zhì)外延)。例如,可以在硅襯底上生長(zhǎng)GaN薄膜(異質(zhì)外延),也可以在GaN襯底上生長(zhǎng)GaN薄膜(同質(zhì)外延)。

不同襯底的GaN外延對(duì)比

外延片的最大價(jià)值就在于,它可以得到最優(yōu)的性價(jià)比。比如,它通過(guò)在便宜的硅片上生長(zhǎng)一層薄薄的GaN外延,這樣用成熟(便宜)的第一代半導(dǎo)體材料做襯底,來(lái)(部分)實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體(非常貴)寬禁帶的特性(其擊穿電壓已經(jīng)可以達(dá)到600V),可謂是相當(dāng)劃算(外延片只要幾百塊一片,流片技術(shù)尚不非常成熟,價(jià)格估計(jì)比硅片高,但是肯定比GaN要便宜很多)。

那么為什么說(shuō)它不行呢??因?yàn)橄襁@種異質(zhì)外延的結(jié)構(gòu),是存在很多問(wèn)題的,比如晶格失配(可以理解為把腳手架搭在塑料地基上,就會(huì)非常不穩(wěn))、溫度系數(shù)不一致(熱脹冷縮,溫度變化時(shí),不同材質(zhì)肯定存在問(wèn)題)、熱傳導(dǎo)不良(Si的導(dǎo)熱性很差的,你想想GaN的優(yōu)勢(shì)就是做功率器件,但是它的散熱又那么差,你慌不慌)等等。

做產(chǎn)品,質(zhì)量是很關(guān)鍵的,這么多缺陷,反映到量產(chǎn)上,是很難質(zhì)量把控的。尤其是硅襯底的那個(gè)導(dǎo)熱率,用作功率器件上簡(jiǎn)直就是噩夢(mèng)啊,用作射頻器件吧,在移動(dòng)端(<5V場(chǎng)景)性能還干不過(guò)GaAs,導(dǎo)熱還是個(gè)坑。現(xiàn)在的狀態(tài)是,大家都很看好硅基GaN這個(gè)東西,但是敢上產(chǎn)品的幾乎還沒有,甚至晶圓廠的產(chǎn)線都不太成熟(還有模型啥的也都不健全)。

總之,硅襯底的導(dǎo)熱,如果解決不了,GaN就是個(gè)純坑,誰(shuí)用坑誰(shuí)!

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